當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>低真空CVD系統>> OTF-1200X-80-III-F3LV1200℃三溫區三通道混氣CVD系統
殼體結構
· 雙層殼體結構并帶有風冷
· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環保節能
· 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
可開啟式,更換爐管方便
功率
5 KW
電壓
AC 208-240V單相, 50/60 Hz
加熱元件
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
最高工作溫度
1200℃
連續工作溫度
1100℃
最大加熱速率
≤20 ℃/min
石英管& 密封法蘭
· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內
· 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)
加熱區長度
· 三個溫區長度: (880mm, 35" in total)
· 溫區 1: 220mm (8.6" )
· 溫區 2: 440mm (17.3")溫區 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。
溫控系統
· 三個精密溫度控制器,可獨立控溫· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。
· 30段可編程智能溫度調節儀,并可設置30段升降溫程序.
· 帶有過熱和斷偶保護功能
控溫精度
+/- 1℃
真空密封系統
· 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).
· 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.
· 漏氣率 < 5 m-torr / min
真空泵
采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的0.3微米
數字式真空顯示計
可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換
氣體流量計和壓力表
· 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流
· 三路浮子量程分別為· 10-100 cc/min.
· 16-160 cc/min.
· 25-250 cc/min
· 內部安裝有一混氣罐有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統側面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力
閥門
四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上,用于控制氣體的流量
外形尺寸
· 爐子: 1100 X 450 x 670mm
底部移動架: 600x600x597mm
開門斷電
為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
凈重
約 90 Kg
運輸重量
245 lbs
質保期
一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
使用注意事項
· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度<1100℃對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等